江婉坐在主控台前,面前是“凤凰工程”二期进度全景图??一条从硅砂到芯片的完整产业链条正以肉眼可见的速度被点亮。多晶硅还原车间已连续运行四十五天无故障;气体提纯站产出的六氟乙烷纯度达到99.9997%,完全满足光刻工艺需求;西安合作方送来的首批国产石英坩埚也通过了高温稳定性测试。整条产线就像一头正在苏醒的巨兽,骨骼渐成,血脉贯通。
但她知道,真正的考验才刚刚开始。
“深紫外光源原型机第三次点火准备就绪。”李志远的声音从耳机中传来,“电压加载至额定值,冷却系统正常,真空腔体密封良好。”
“启动。”江婉轻声道。
嗡??
一声尖锐而稳定的鸣响自东区实验楼方向传来,紧接着,监控屏幕上跳出一串数据流:波长193.2纳米,输出功率48瓦,光束均匀性±1.5%。不到十秒,一张实时成像图自动上传至系统??那是用自研dUV光源完成的首次G线曝光图形,线条清晰,边缘锐利,分辨率稳定在0.65微米水平。
“我们有自己的光了。”吴云诚站在她身后,语气里带着难以置信的震撼,“不用再求人,不用再等审批,也不用看脸色。”
江婉没有笑。她只是静静地看着那张图像,指尖轻轻划过屏幕边缘,像是触摸一段终于落地的历史。十年前,她在伯克利第一次走进洁净室时,导师曾指着头顶的汞灯说:“这束光,照亮了整个信息时代。”那时她以为,掌握这种光源的人,自然就掌握了未来的钥匙。可今天,她亲手造出了一把新钥匙,而且是中国人自己锻造的。
手机震动起来。来电显示是郑可。
“飞利浦那边发来正式函件,”郑可的声音透着一丝冷笑,“说我们‘单方面终止商业谈判’,涉嫌违反国际贸易诚信原则,保留追究法律责任的权利。”
江婉嗤笑一声:“让他们告去吧。等我们的EUV预研组把极紫外光源做出来,他们连诉讼书都来不及写。”
挂断电话后,她起身走向窗边。窗外,工人们正连夜安装新的供电线路,为即将上线的离子注入机做准备。远处塔吊林立,微纳材料共生园的二期扩建工程已经动工。这座曾经只是代工厂聚集地的工业园,如今已蜕变为一座集科研、制造、教育于一体的科技生态城。
然而,风暴从未真正平息。
三天后,国家知识产权局通报一则紧急情况:东南电子集团联合三家境外子公司,在美国、德国和新加坡同步提起专利侵权诉讼,指控“大江科技”多项核心技术侵犯其“先进封装结构”与“复合光刻胶层叠工艺”两项专利,并申请冻结公司在海外银行账户及离岸资产。
“这是围剿。”赵振国连夜赶到总部会议室,将一份厚厚的跨国法律文件摊开在桌上,“他们不是为了赢官司,是要拖垮我们现金流,切断国际融资渠道,逼我们在最紧要关头断血。”
会议室一片沉默。
良久,江婉开口:“查清楚这两项专利的技术细节来源没有?”
“查了。”法务总监递上报告,“‘复合光刻胶层叠工艺’的核心参数,与我们两年前发表在《中国微电子学报》上的一篇技术综述高度重合,甚至连错误数据点都一模一样??他们抄漏了修正说明。”
“至于‘先进封装结构’,”另一人补充,“原始设计图纸出自哈尔滨工大2018年的学生毕业项目,当时还拿了全国大学生集成电路创新大赛一等奖。我们资助过那个团队,但从未申请专利,因为他们觉得‘太基础’。”
江婉冷笑:“现在他们拿我们的公开成果去抢注,再反过来咬我们?真是好算盘。”
“问题是,”郑可皱眉,“国际专利体系认的是申请时间,不是实际发明时间。哪怕我们有证据链,打起官司来也是旷日持久,成本极高。”
“那就换个打法。”江婉站起身,走到白板前写下三个字:**反向开源**。
众人一怔。
“我要在全球范围内,主动公开这两项技术的全套实现路径,包括材料配比、工艺窗口、设备参数设定,甚至失败案例分析。不加任何保留,全部开放授权,任何人、任何企业都可以免费使用,只需注明来源即可。”
“你疯了?”有人惊呼,“这是我们好不容易攒下来的技术壁垒!”
“壁垒?”江婉反问,“如果别人能靠抄袭就绕过去,那它本来就不该叫壁垒。真正的护城河,从来不是某个参数或结构,而是我们持续创新的能力。”
她环视全场:“更重要的是,一旦我们公开,他们的专利就会因‘缺乏新颖性’而失效。这不是放弃