什么时候做、做多久,谁在做”用时间轴的方式直观展示出来。简单来说,就是把任务画成一条条“时间条”,排在日历上的项目作战地图。“老板,破晓 A220目前的月产能稳定在12台,阿斯麦的破晓d400产线也完成了第二轮扩容,月产能19台。”他顿了顿,翻到下一页:“按照当前的订单排期,A220的交付周期是七个月,d400是四个月。山星、湾积电、英特尔的订单占了大头,加起来大概百分之六十五,剩下的是中芯、长鑫、华为海思,以及几家欧洲和小日子的晶圆厂。”星源科技的实际产能远不止于此,只是买家有限,全球需要光刻机的晶圆厂就那么多,造多了也卖不出去。陈延森听着,没什么表情。这些数据他在车上就看过了,莫斯每天都会把各子公司的运营日报推送到他的手机上。他来这里,不是听汇报的,于是直接打断了梁劲松:“说说A3X的情况吧。”破晓 A3X,是星源科技研发的一款高数值孔径EUV光刻机,设计波长13.5纳米不变,但数值孔径从A220的0.33提升到0.55。梁劲松听后,不慌不忙地翻过几页PPT,投影上跳出一张全新的技术架构图,中央赫然标注着“破晓 A3X High-NA EUV”几个大字。“老板,A3X的量产验证已完成,第一批的六台量产机在上周全部下线,随时可以投入使用。其中三台做好了出厂检测,剩下三台正在进行最后的光学系统微调,预计本周五之前也能全部就绪。”梁劲松语气沉稳,条理清晰地答道。新品发布会定在九月五日,也就是下周二。场地、媒体邀请、客户名单均已确认完毕,连新闻通稿的初稿都已完成,前期筹备工作基本就绪也是很正常的事。陈延森微微颔首,示意梁劲松继续汇报。梁劲松用激光笔圈住架构图左侧的模块,开始介绍核心参数:“A3X搭载的是第四代锡靶等离子体光源,输出功率达到800瓦,是A220光源功率的三倍以上。量产机实测数据比工程样机还要稳定,连续运行九十六小时,功率波动控制在正负零点二五个百分点以内。”800瓦,稳定运行九十六小时,波动不超过千分之二点五。这已经不是领先一代的问题了!等破晓 A3X光刻机的核心参数公布后,欧美地区的光刻机研发机构,怕是当场就会放弃追赶的想法。梁劲松继续往下说,激光笔移到了架构图的投影物镜模组区域:“数值孔径0.55,这是A3X最核心的技术指标。采用了8X变形投影光学系统,物镜组中引入了非球面加自由曲面混合透镜阵列,一共十七片光学元件,其中六片是自由曲面镜,面型精度做到了30皮米RmS以下。”一个皮米是一万亿分之一米。这意味着,十七片镜片中每一片的表面起伏,都不超过大约三分之一个原子的直径。梁劲松翻到新的一页PPT,上面是一张柱状图,横轴是时间,纵轴是每小时晶圆处理量。“A3X的量产吞吐量是每小时380片12英寸晶圆,这个数字是六台量产机的平均值,最高的一台跑到了每小时411片。”A3X的产能,相比A220足足提升了近一倍。而它更强大的优势在于,单次曝光即可支持1纳米芯片的生产。“老板,售价需要您来拍板。”一口气介绍完A3X的全部参数后,梁劲松笑着提议道。“破晓A220卖8000万美币,那A3X至少也要翻一倍,加上工艺优势,定2.4亿美币吧。”陈延森慢条斯理地说道。当然,2.4亿美币仅仅是裸机价格,厂房EUV专用改造、电力和冷却系统、真空与防污染系统、安装调试和维保合同所需的费用还没算进去。否则,最低也要3亿美币!说完,陈延森缓缓起身,冲着梁劲松说:“去预装测试车间看看。’毕竟破晓 A3X的研发工作,他全程都没怎么参与,全靠之前的研发团队。技术文档没问题,就怕制造环节出纰漏。一行人出了会议室,直奔EUV光刻机的专用洁净室而去。另一边。港岛、澳岛的超级富豪,在得知TLN-02衡端素的存在后,纷纷托人打听,想弄清它的真实效果。其中反应最快的,是澳岛的河家,连夜备上厚礼,以登门拜访的名义,直飞庐州。