（六）【材料与试剂储存区】
1. 〖位置与功能〗：
位于实验室边缘，用于储存实验所需的各种材料、试剂和耗材，确保其安全存放和方便取用。
2. 〖布局细节〗：
＜材料储存区＞：
存放有用于原子层沉积的前驱体材料、纳米材料制备的基础材料（如金属、半导体、有机化合物等）以及用于纳米材料应用研发的特殊材料（如生物活性分子、电极材料等）。
这些材料按照类型、化学性质和保存要求分类存放在货架或储存柜中，每个储存位置都有明确的标识和库存管理系统。
对于一些对环境敏感的材料，如易氧化、吸湿或光敏的材料，设有专门的储存条件，如密封、充惰性气体、避光、防潮等。
＜试剂储存区＞：
设有常温试剂储存柜、冷藏试剂储存柜（温度范围 2 - 8c）和冷冻试剂储存柜（温度可达 -20c或更低），分别存放不同性质和保存要求的试剂。
对于易燃易爆、有毒有害等特殊试剂，有专门的危险试剂储存库，具备防火、防爆、通风、泄漏处理等安全设施。
储存区内的试剂都有详细的标签和库存管理系统，通过扫码或电子标签可快速查询试剂信息和库存情况。
＜耗材储存区＞：
存放有各种规格的移液器枪头、离心管、载玻片、盖玻片、探针、光刻胶、化学试剂瓶、防护用品等，按照类型和规格分类存放，并配备库存管理系统，方便研究人员取用和盘点。
二、《实验室设备》
（一）【样本制备与预处理设备】
1. 〖样本接收站设备〗：
气密样本传递舱（密封性能好，带有紫外线消毒灯和气体净化装置）、样本登记终端（计算机，安装有样本管理软件）。
2. 〖预处理工作台设备〗：
高精度镊子（不同规格，材质耐用）、手术刀（锋利，可精细切割）、微钻（用于处理块状样本）、超声清洗器（频率可调节，清洗效果好）、小型离心机（转速范围广，可精确控制）、样本干燥箱（温度可调节，干燥均匀）。
3. 〖样本储存区设备〗：
常温储存架（多层，通风良好）、冷藏柜（温度可精确调节，波动范围±0.5c）、惰性气体保护储存柜（内部充入氩气等，密封良好）。
（二）【原子层沉积设备】
1. 〖原子层沉积系统设备〗：
独立的原子层沉积设备（多个，可实现不同材料沉积和参数设置）、高精度气体输送系统（精确控制前驱体气体流量和脉冲时间）、特殊反应室（耐高温、耐腐蚀，内部超高真空，带有加热和冷却装置，温度范围 -100c - 1000c）。
2. 〖前驱体储存与供应区设备〗：
前驱体储存容器（特殊密封，满足不同保存要求）、气体输送管道（连接储存区和沉积设备）、气体净化和质量监测设备（确保前驱体气体纯度）。
3.〖过程监控与控制系统设备〗：
监控控制台（电脑软件可实时监控参数）、控制系统（精确控制沉积步骤和参数）、数据记录和存储系统（详细记录实验数据）。
（三）【纳米材料表征中心设备】
1. 〖扫描隧道显微镜实验室设备〗：
高分辨率扫描隧道显微镜（安装在减震和电磁屏蔽平台）、样品制备和加载区域（便于放置样本）、高精度扫描控制器和数据采集系统（可原子尺度成像和测量）。
2. 〖原子力显微镜实验室设备〗：
原子力显微镜（多台，配备不同模式探针）、稳定实验台（清洁环境）、计算机控制系统（精确控制扫描参数）。
3. 〖其他表征设备区设备〗：
x 射线光电子能谱仪（xpS）、透射电子显微镜（tEm）、拉曼光谱仪等（各自有独立的实验室、样品制备和数据处理区域）。
（四）【纳米材料应用研发设备】
1.〖电子应用研发实验室设备〗：
＜微纳加工设备＞：
电子束光刻系统（纳米尺度图案化加工）、聚焦离子束刻蚀系统（精细刻蚀和加工）、空气过滤和净化系统（保持微纳加工环境洁净）。
＜电学性能测试设备＞：
半导体参数分析仪（测量电学参数）、高频示波器（观察高频信号响应）、电路设计和组装区域（集成电子器件构建电路）。
2.〖能源应用研发实验室设备〗：
＜纳米电池制备设备＞：
电化学沉积系统（制备电池电极）、真空镀膜系统（沉积电池组件薄膜）、化学试剂储存区（存放电解液、电